干式真空泵报价-凯德金科技(在线咨询)-干式真空泵
企业视频展播,请点击播放视频作者:凯德金(北京)科技发展有限公司真空泵开机前应做好哪些准备?1.清理杂物。首先要清除真空泵中的尘土,其次是管子中的尘土杂物,尤其是焊接残渣,保证清洁,防止进入泵中造成堵塞卡死。2.检查真空泵各个部件是否齐全。检查吸气口和排气口是否正确上紧,干式真空泵报价,所有管路是否安装无误,同时检查冷却水管是否正常。3.保证齿轮箱润滑油在标准油位。在不同油位视镜处检查油位,确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处,螺杆真空泵的齿轮箱中油过少容易导致齿轮、轴承润滑不足、咬死;过多则容易引起润滑油温度过度升高,导致齿轮噪音或对其他部件的影响。因此,需要注意将油位长期保持在合理范围内。4.注意冷却水量是否按要求配置。螺杆真空泵通过水冷夹套对泵体进行冷却,各个型号的冷却水量也有所不同,实际开机前要根据对应型号要求以及环境情况,保证冷却水量是否满足配置需要。5.检查确认真空机组各个阀门的状态。工艺入口阀关闭、入口过滤器排污阀关闭、出口管线畅通,出口管排污阀打开、冷却水入口管线和出口管线阀门打开、氮气线阀门打开,吹扫气压力为0.5bar,氮封气压力为3bar,吹扫阀关闭。真空泵分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,干式真空泵厂家,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,干式真空泵供应商,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。真空泵特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,干式真空泵,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。干式真空泵报价-凯德金科技(在线咨询)-干式真空泵由凯德金(北京)科技发展有限公司提供。凯德金(北京)科技发展有限公司实力不俗,信誉可靠,在北京通州区的电子、电工产品制造设备等行业积累了大批忠诚的客户。凯德金科技带着精益求精的工作态度和不断的完善创新理念和您携手步入辉煌,共创美好未来!)
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