背靶材料：无氧铜(OFC)–目前常使用的作背靶的材料是无氧铜，因为无氧铜具有良好的导电性和导热性，而且比较容易机械加工。如果保养适当，无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。钼(Mo)–在某些使用条件比较特殊的情况下，如需要进行高温帖合的条件下，纯银板材厂家，无氧化铜容易被氧化和发生翘曲，纯银板材回收，所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配，同样也需要使用金属钼作为背靶材料。所述泡沫弹性层包含:至少三种具有不同体积电阻率的导电性橡胶，江苏纯银板材，这三种导电性橡胶的体积电阻率小于约IXο14ΩCm;至少一种体积电阻率为约IXlO14Qcm或更大的绝缘橡胶；以及至少两种导电性填料。所述绝缘橡胶为选自由三元乙丙橡胶、硅橡胶和丁基橡胶构成的组中的至少一种橡胶。根据本发明的第三方面，所述导电性橡胶和所述绝缘橡胶为氯醚橡胶、丁苯橡胶和三元乙丙橡胶，或者为氯丁橡胶、氯醚橡胶、丁苯橡胶和三元乙丙橡胶。根据本发明的第四方面，纯银板材加工，所述绝缘橡胶的含量为橡胶成分总量的约30质量％至约40质量％。在所有应用产业中，半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。如今12英寸（300衄口）的硅晶片已制造出来．而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒，这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。另外，薄膜的纯度与靶材的纯度关系极大，过99.995%（4N5）纯度的铜靶，或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求，但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。纯银板材加工-江苏纯银板材-沈阳东创【全心全意】(查看)由沈阳东创贵金属材料有限公司提供。行路致远，砥砺前行。沈阳东创贵金属材料有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为冶炼加工具有竞争力的企业，与您一起飞跃，共同成功!)