氦质谱检漏原理氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气，是因为氦气具有以下优良特性：①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。今天科仪小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。北京科仪真空技术有限公司生产氦质谱检漏仪，如您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询！真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统1．配置与气路控制真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。2.系统检测过程1)、通过v1、V4，六氟化硫充气柜真空箱测漏设备，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V22)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V23)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收，对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。6)、维持泵有一定的氦分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。本产品信息由科仪提供，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪竭诚为您服务！六氟化硫充气柜真空箱测漏设备由北京科仪创新真空技术有限公司提供。行路致远，砥砺前行。北京科仪创新真空技术有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为行业设备具有竞争力的企业，与您一起飞跃，共同成功!)