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企业视频展播,请点击播放视频作者:北京晓韬科技有限公司气体质量流量控制器的密封材料如何选择?质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶;三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差小于0.1MPa,有可能操控流量达不上满量程值;若高过0.3MPa,质量流量,有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时,无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态,质量流量公司,都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内,而且压差要相持续稳定。如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用MFM。当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,质量流量厂家,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。晓韬科技有限公司(图)-质量流量公司-质量流量由北京晓韬科技有限公司提供。北京晓韬科技有限公司拥有很好的服务与产品,不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员,点击页面的商盟客服图标,可以直接与我们客服人员对话,愿我们今后的合作愉快!)