玉树真空泵厂家-哪里有卖屹达空压机-水环式真空泵厂家
分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。真空泵按其工作原理,基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等。工业中应用多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入,增加和效率下降阀片,经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上,上部摆开一个角度,被扭曲成“S”形,经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题,阀片中间应力过于集中,加快了其他部件的疲劳和破坏程度,减少了设备使用寿命,导致阀片从中间部分出现断裂情况,影响正常使用。)