首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，防油纳米涂层，然后沉积派瑞林涂层C在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，云浮纳米涂层，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（Parylene）涂层微通道。通过控制（Parylene）涂层沉积的厚度，纳米防护涂层，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，纳米涂层液，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。派瑞林涂层可保护各种橡胶和弹性体组件，包括密封件、垫圈，键盘、导管、塞子、级硅树脂或橡胶产品，派瑞林涂层具有良好的生物相容性，无毒和化学惰性保护屏障，因此，对于提升器械防护性能具有很好的防护作用。派瑞林（Parylene）涂层通过气相沉积工艺在真空室中施加，并且在涂覆过程中，派瑞林单体能够渗透橡胶和塑料的表面，从而提供优异的粘附性。派瑞林（Parylene）薄而透明的柔韧特性通过保护表面和改善表面特性，提高了橡胶和弹性体组件的性能。在不降低部件功能性能的情况下进行这些改进。派瑞林（Parylene）产生真正的保形涂层部件，在平坦的表面区域和孔的内部尺寸周围具有一致的厚度。无派瑞林（Parylene）涂层可以防止物质转移到涂层基材中或从涂层基材中转移出来，即使在一个或两个微米层中也是如此，派瑞林（Parylene）涂层密封较复杂的印刷品。派瑞林涂层用于生物的表面（如骨钉、探针、导丝、起搏器、脑电极、植入式传感器等），以其较好的耐腐蚀、耐，、低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层而被越来越多的用户选择。派瑞林涂层用于硅片、芯片、半导体表面，能有效隔绝空气中的水氧，起到很好的封装作用。派瑞林涂层用于和书籍画卷的表面，加固纸张的质地，在表面增加保护层，起到防蛀、防霉、的作用。纳米涂层液-云浮纳米涂层-菱威派瑞林镀膜工厂由东莞菱威纳米科技有限公司提供。东莞菱威纳米科技有限公司位于广东省东莞市长安镇太安路1438号1号楼301室。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前菱威纳米在工业制品中享有良好的声誉。菱威纳米取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。菱威纳米全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。)