微光显微镜系统-特斯特电子科技公司-山西微光显微镜
超声波显微镜在失效分析中的应用晶圆面处分层缺陷锡球、晶圆、或填胶中的开裂晶圆的倾斜各种可能之孔洞(晶圆接合面、锡球、填胶…等)。超声波显微镜的在失效分析中的优势非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构可分层扫描、多层扫描实施、直观的图像及分析缺陷的测量及缺陷面积和数量统计可显示材料内部的三维图像对人体是没有伤害的可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸极氧化层缺陷(Gateoxidedefects)、静电放电破坏(ESDFailure)、闩锁效应(LatchUp)、漏电(Leakage)、接面漏电(JunctionLeakage)、顺向偏压(ForwardBias)及在饱和区域操作的晶体管,山西微光显微镜,可藉由EMMI定位,找热点(HotSpot或找亮点)位置,微光显微镜报价,进而得知缺陷原因,微光显微镜价格,帮助后续进一步的失效分析。侦测到亮点之情况;会产生亮点的缺陷:1.漏电结;2.解除毛刺;3.热电子效应;4闩锁效应;5氧化层漏电;6多晶硅须;7衬底损失;8.物理损伤等。侦测不到亮点之情况不会出现亮点之故障:1.亮点位置被挡到或遮蔽的情形(埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置);2.欧姆接触;3.金属互联短路;4.表面反型层;5.硅导电通路等。点被遮蔽之情况:埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置,这种情况可采用Backside模式,但是只能探测近红外波段的发光,且需要减薄及抛光处理。微光显微镜系统-特斯特电子科技公司-山西微光显微镜由苏州特斯特电子科技有限公司提供。行路致远,砥砺前行。苏州特斯特电子科技有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴,更矢志成为分析仪器具有竞争力的企业,与您一起飞跃,共同成功!)