高纯气体管道配管所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，管道工程怎么样，并在图纸中注明管道材质。管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316LEP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，苏州管道工程，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximumpeaktovalleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(BrightAnneal)处理之316LBA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316LBA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing&Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。实验室气体管道安装【实验室气体管路要求】1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。（比如通风柜）。2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。3、易i燃气体，如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，管道工程性能，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。6、每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。8、每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。9、不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，管道工程生产商，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。10、供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。【实验室气体管路安装检验】实验室承包商要保证气体管路系统的清洁，所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验，防止管路泄漏。气体管道安装工程要求:(一)工作压力大于或者等于0.1MPa(表压，下同)的;(二)公称直径大于25mm的;注1:公称直径即公称通径、公称尺寸，代号一般用DN表示。《压力管道元件制造许可规则》:本规则所称公称直径根据相关标准，依据不同的管材、管件，可以指公称外径、公称内径、通径和口径、公称尺寸。(三)输送介质为气体、蒸汽、液化气体、工作温度高于或者等于其标准沸点的液体或者可燃、易i爆、有毒、有腐蚀性的液体的。根据原劳动部《压力管道安全管理与监察规定》和质检总局《压力容器压力管道设计许可规则》TSGR1001-2008的定义，工业管道是指企业、事业单位所属的用于输送工艺介质的工艺管道、公用工程管道及其他辅助管道。苏州珂锐弘扬(图)-管道工程生产商-苏州管道工程由苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司提供。苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司是江苏苏州,化工成套设备的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在珂锐弘扬领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创珂锐弘扬更加美好的未来。)